MSB Serio Mezfrekvenca Sputtering Elektroprovizo

Mallonga priskribo:

RHH-serio RF-elektroprovizo dependas de matura RF-generacia teknologio por provizi klientojn per RF-elektroprovizo kun pli granda potenco, pli alta precizeco kaj rapida respondo.Kun fazo povas esti agordita, pulso kontrolebla, cifereca agordado kaj aliaj funkcioj.Aplikeblaj kampoj: industrio fotovoltaica, industrio de ekrano de plata panelo, industrio de duonkonduktaĵoj, kemia industrio, laboratorio, scienca esplorado, fabrikado ktp.

Aplikeblaj procezoj: plasmo plibonigita kemia vapordemetado (PECVD), plasma akvaforto, plasma purigado, radiofrekvenca jonfonto, plasmo-disvastigo, plasmopolimeriga ŝprucado, reaktiva ŝprucado, ktp.

Produkta Detalo

Produktaj Etikedoj

Sendu retpoŝton al ni

Trajtoj

● Duonbrikaj kaj rako-muntaj stiloj

● Adoptu plenan ciferecan kontrolon, kun oportuna kaj riĉa operacia menuo

● Funkcioj de sinkronigado de ofteco, pulso kaj pulso

● Kun CEX-faza sinkroniga funkcio

● Perfekta protekta funkcio

Produkta Detalo

Enigo	Enira tensio: AC220V±10% 3ΦAC380V±5% (Specialaj specifoj povas esti personecigitaj)
Enigo	Eniga frekvenco: 47~63Hz
Eligo	Eliga frekvenco: 13.56MHz、27.12MHz、40.68MHz
	Agorda gamo: ± 5%
	Eliga potenco: 1.5 ~ 5kW
	Regulga gamo de eliga potenco: 1 ~ 100%
	Eliga impedanco: 50Ω+j0
	Eliginterfaco: tajpu N
	Eliga reĝimo: kontinua, pulso
	Pulsfrekvenco: 100Hz~100kHz
	Devociklo: 5 ~ 95%
Indekso de rendimento	Potenca faktoro: 0,98
	Frekvenca stabileco precizeco: ± 0.005%
	Efikeco: 75% (ĉe taksita eligo)
	Harmoniko: ＜-45dBc
	Devaga: ＜-50dBc
	Ekstera kontrola interfaco: analoga kvanto, komunikado kaj sinkronigo
	Komunika reĝimo: Norma RS485-komunika interfaco;Laŭvola Ether CAT, industria Ethernet, ktp.
Noto: la produkto daŭre novigas kaj la rendimento daŭre pliboniĝas.Ĉi tiu parametropriskribo estas nur por referenco.