TPM5 Serio Potenco-Regilo
-
TPM5 Serio Potenco-Regilo
La potencregilo de la serio TPM5 adoptas la ideon de modula dezajno kaj integras ĝis 6 cirkvitojn interne. Produktoj estas ĉefe uzataj en difuzaj fornoj, PECVD, epitaksiaj fornoj, ktp.